J－A2500型等离子体射频发生器的维修及配件国产化

文献类型： 中文期刊

第一作者： 王杨军

作者： 王杨军

作者机构：

关键词： 陶瓷管,陶瓷电容,电源厚膜块,射频发生器

期刊名称： 分析测试仪器通讯

ISSN：

年卷期： 1996 年 04 期

页码：

摘要： 通过对ＪＡ２５００型等离子体射频发生器的维修，介绍了进口大功率发射管５ＣＸ１５００Ａ、匹配盒内高频高压陶瓷电容器及自动功率控制电源厚膜块等仪器配件的国产化。

分类号： O539

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