T330扫描电镜真空系统维护与故障排除

文献类型： 中文期刊

第一作者： 蔡炳华

作者： 闭志强

作者机构：

关键词： 扫描电镜;真空系统;旋转泵;扩散泵

期刊名称： 仪器仪表用户

ISSN： 1671-1041

年卷期： 2003 年 05 期

页码： 69

摘要： 简单介绍T330扫描电镜真空系统的结构和日常维护。通过二例故障的分析,说明故障处理的方法。

分类号： TB753

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