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电容传感器的信号处理及其在机床主轴热变形测量中的应用研究

文献类型： 中文期刊

作者： 刘瑾 1 ; 杨海马 1 ; 陈军 1 ; 李瑞婷 1 ;

作者机构： 1.上海工程技术大学电子电气工程学院;上海理工大学光电学院;中国水产科学研究院渔业机械研究所

关键词： 电容位移传感器;位移测量;主轴热变形

期刊名称： 传感技术学报

ISSN： 1004-1699

年卷期： 2011 年 01 期

页码： 149-154

收录情况： 北大核心 ; CSCD

摘要： 利用电容式传感器,设计一个高精度位移测量系统,对机床主轴的热变形量进行非接触式测量。根据被测对象的特点,阐明了系统的工作原理和数据的处理方法,分析了影响传感器测量精度、稳定性的因素,提出了利用电子学技术和数字信号滤波技术提高传感器精度的技术手段,为机床主轴热变形的高精度、非接触式测量提供了一种技术途径。经长时间实验分析和系统标定,测量系统的精度可达到纳米级,线性度较好,满足了精密机床加工中对主轴热变形特性提取的要求,为电容式位移传感器在类似非接触式、高精度测量中的应用提供了有意义的参考。

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